真空泵油在使用过程中，由于氧化、乳化及外界混入各类杂质等原因，其中一部分油变质，当变质成分和杂质多到一定程度时，油的颜色发生变化，黏度和酸值升高了，析出不溶性的树脂状物质.致使真空泵油的蒸气压增高.性能恶化。此时泵油不能继续使用了.必须更换新的泵油。
为防止泵油中的粉尘、颗拉物质随泵油一起进入泵腔.对某些工艺过程.在泵运转过程中应设有连续过滤装置。灰尘、杂质及被污染的油沉入主油箱底部后，通过回油管流入副油箱经过分离、沉淀，乳化后的油、水、灰尘和杂质沉入副油箱底部由排放阀定期放出.而相对干净的油则由设于副油箱中上部的过滤器过滤后经进油管进入分油腔后供给端盖和泵腔工作。
过滤器内的过滤芯在油经过时挡住了机械污染物.净化了泵油。过滤器上常常连上压力表以显示过滤器是否堵塞。当压力增加，油不能正常流动时。即为过滤器堵塞，应更换或清洗过滤芯。
旋片泵一般每周检查一下油量。换油的时间间隔依工作条件而定.一般因油润滑不良、油分解或污染物太多使泵极限压力上升时，就需要更换油了。
从排气阀排出的被抽介质和油经过分离式排气帽时，气体和一部分蒸汽由排气口排出，阀门与泵连动，即泵工作时.阀门启动.油路口打开充气口关闭。泵停止时，阀门油路口关闭，同时充气口打开，大气从进气口经进油管向泵腔充气而破坏泵腔内真空.使泵油无法进入泵腔。