5月19日,由晶盛机电子公司晶鸿精密与日本primet合资成立的绍兴普莱美特真空部件有限公司发布6款国产半导体真空阀门产品。
据介绍,2021年3月,晶鸿精密与日本primet合作,融合普莱美特的先进研发技术和晶鸿的精密制造能力,加速推动国产真空阀门的技术升级、产品研发和市场开拓。2022年4月,普莱美特首批6款隔膜阀通过客户认证,实现量产。客户主要包括中芯集成、七星流量计、美国应用材料、日本东京电子等。
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